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中国制作了世界上最大面积的中阶梯格栅:亚傅体育app官网

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中国

中国制作了世界上最大面积的中阶梯格栅本报长春11月13日,电记者隐喻记者从中国科学院长春光机中了解到,该负责的国家重大科研装备开发项目大型高精度衍生格栅刻划系统的开发于11日通过检查,制作了世界上最大面积的中阶梯格栅。这标志着我国大面积高精度格栅制造中的相关技术达到国际领先水平,结束了在高精度大尺寸格栅制造领域受到人们的影响。

格栅

微光栅是纳米精度周期性微结构的精密光学元件,在光谱学、天文学、激光器、光通信、信息存储等领域有着重要的应用。格栅面积大可以获得高集光率和辨别能力,精度高可以获得更好的信噪比,但制作大而精的格栅是世界性的难题。

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格栅划线机是制做格栅的母机,由于其构件的加工装配精密度较难,运作保障环境要求较高,被誉为精密机械之王,本项目研制的格栅划线机,几乎所有关键构件都冲击全球极限水平。研发期间,科研人员突破了精密机械加工、精密光学加工、精密检测、高精度微位控制等一系列关键技术,研发出面积达400mm×500mm、精度达10nm的格栅,这也是目前世界上面积最大的中级格栅。到目前为止,只有美国能够制造300mm以上的中梯格栅,我国中梯格栅制造能力不足300mm,精度也达不到10nm精度水平,战略高技术领域所需的高精度大尺寸格栅受到国外严格限制。项目负责人、中国科学院长春光机研究员唐玉国表示,大型高精度光栅刻划系统和大面积中阶梯光栅的研制成功,有助于中国光谱仪器行业摆脱有器无心的局面,改变中国光谱仪器产业处于行业低端现状。

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